产品特点

<<  采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度

<<  速度1m/s，加速度4g，快速的整定时间

<<  Y轴双驱双龙门结构，承载能力强

<<  可选光栅或激光干涉仪位置反馈

<<  定位精度±0.15um，重复定位精度±75nm

<<  优化线缆管理系统

<<  根据需求可定制

背景介绍

       随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能必须提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，推出了一款平面式H形双轴超精密气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。

超精度设计

       QFHDS结构采用先进的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非?？斓奈恢谜?。

       根据应用，QFHDS可用于主动或被动隔振系统，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等，整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。

       我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。

非接触式直驱设计

       QFHDS的核心是运用了先进的直线电机，采用了无铁芯设计，实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴使用多个电机驱动，安装位置接近于负载水平面，以提高直线度、平面度和倾角误差等，同时电机是隔热的，对于高占空比应用，电机可选水冷或气冷，尽量避免因电机发热引起的误差。

规格指标

 注：1. 空气供应需清洁，干燥至0°F露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。

         2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%RH.

外形尺寸