磁场补偿系统在世界各地安装了500多台扫描电镜和透射电镜。连续补偿从直流到10千赫。小尺寸三轴磁通门磁场I OE传感器，具有亚纳米分辨率和高稳定性.显示和报警功能。高可靠性通过稳健的类比设计，易于编程。

TEM的磁场规范通常比SEM更严格。大尺寸TEM柱要求磁场均匀。现场测量中所需的磁场梯度测量。补偿线圈的定制规划是补偿线圈均匀性的必要条件。

磁场测量采用三轴磁场传感器，安装在SEM/TEM柱2上.反向场是由连接到反馈控制器的电流-直通电缆环产生的。